电子级氢氧化钾纯级分类有哪些区别
氢氧化钾化学式:KOH,又名苛性钾、苛性碱、钾灰。外观为白色粉末状固体,用途十分广泛,多用于干燥、电镀、化工原料。纯品的氢氧化钾为白色的斜方结晶,而工业品则多为白色或淡灰色的块状或棒状固体。
电子级氢氧化钾可分为UP—S级、UP级、EL级三类:
1、UP-S级:适用0.35-0.8微米集成电路加工工艺,金属杂质含量小于1ppb,经过0.05微米孔径过滤器过滤,控制0.2微米粒子,在100级净化环境中灌装达到SEMI C8标准。
2、UP级:适用1微米集成电路及TFT-LCD制造工艺,金属杂质含量小于10ppb,经过0.2微米孔径过滤器过滤,控制0.5微米粒子,在100级净化环境中灌装,达到SEMI C7标准
3、EL级:金属杂质含量小于100ppb,控制1微米粒径粒子,达到SEMI C1 C2标准,适合中小规模集成电路及电子元件加工工艺。
电子级氢氧化钾纯度要求十分高,主要应用于制备电子设备,尤其是近年来微小化电子设备的发展,对电子级试剂的应用就显得尤为重要。
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